超纯水（UPW）

UPW（超纯水）是半导体、太阳能及显示面板制造中的关键基础资源，因为即使极微量的离子、颗粒物及 TOC（总有机碳）也可能影响产品良率。由于纯度要求极其严苛，传统水处理系统往往难以满足晶圆厂等级（Fab-level）的超纯水标准。

我们的解决方案

NanoH2O 技术通过稳定颗粒去除、深度离子截留以及可靠精处理性能，为 UPW 制备及废水回收提供支持。同时，通过降低颗粒与离子杂质、稳定精处理单元进水水质，并支持高回收率循环回用，进一步提升 UPW 系统整体可靠性。相关解决方案可帮助先进制造工厂降低缺陷率，并提升生产良率。