微电子行业(半导体、显示器、太阳能)

半导体晶圆厂、显示面板制造以及太阳能电池生产,对水质有着行业最高等级要求,因为即使是极微量污染物,也可能影响产品性能与良率。

我们的解决方案

NanoH2O 技术可通过降低颗粒物、离子及 TOC(总有机碳)含量,实现稳定的超纯水(UPW)生产,广泛应用于超纯水制备、晶圆厂废水回收以及先进制造精处理等关键环节。相关解决方案能够提升产品良率、降低缺陷率,并支持高回收率回用系统,满足高耗水型微电子产业对水资源管理的严苛需求。

NanoH2O的技术

  • UF:纳米级颗粒去除及 RO 预处理
  • RO:用于 UPW 进水的深度离子与有机物去除
  • IX:终端精处理至 18.2 MΩ·cm 超纯水标准
NanoH2O 以水之力,
开启无限可能。
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技术与解决方案。
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